全自动TGV晶圆玻璃溅射后超声波清洗机

TGV玻璃通孔技术被认为是下一代三维集成的关键技术。目前TGV已成为半导体3D封装领域研究和热点，尽管玻璃基板的使用率还未普遍，但有预测称，一旦实现，将成为基板行业新的游戏规则改变者。

全自动TGV晶圆玻璃溅射后超声波清洗机可提供TGV各制程配套湿法清洗设备：

基板材料:石英玻璃、硼硅玻璃、高铝玻璃、蓝宝石玻璃等

全自动TGV晶圆玻璃溅射后超声波清洗机基板尺寸：4英寸,6英寸,8英寸晶圆,2-8英寸方片、矩形片,厚度0.1~5mm

全自动TGV晶圆玻璃溅射后超声波清洗机用于晶圆激光打孔前后，玻璃腐蚀后，溅射前，磨抛后，光刻前，全工艺完成后的清洗干燥，通过特定的清洗液，在超声溢流等不同槽体功能的辅助下将基板表面的颗粒油污等清洗干净，达到生产过程工艺要求。

全自动TGV晶圆玻璃溅射后超声波清洗机作用为先通过激光诱导后，通过湿法腐蚀的方式，对基板做一些通孔或微结构。基板性质：深径比＞50：1，小孔径 10 微米；

可在湿法刻蚀条件下， 晶圆表面的金属膜层进行显影后，对金属进行图形化刻蚀；

全自动TGV晶圆玻璃溅射后超声波清洗机参数说明：

外形尺寸：2000×1120 ×1000 mm

加工版面：≤宽600mm(长度不限)

全自动TGV晶圆玻璃溅射后超声波清洗机工作形式：连续进料、双面喷淋式

过滤形式：供液过滤+下料过滤

加热系统：钛合金防腐加热

全自动TGV晶圆玻璃溅射后超声波清洗机工作温度：-10-50度（自动恒温）

蚀刻速度：无级调速

功 率：3.5kw/380V

控制系统：蚀刻开关、单双面蚀刻控制开关、自动温控、水平轮片传送（无级调速）

注：该机可按具体需求，针对性设计；

全自动TGV晶圆玻璃溅射后超声波清洗机材质：

整体为进口PVC增强硬质塑料板，表面光洁平整，并耐老化、耐腐蚀、易清洗、无泄露，摒弃玻璃钢材质应时间 而产生表面退色纤维化

全透明进口耐冲击板材制造，便于试验时观测试验样品受试状况

全自动TGV晶圆玻璃溅射后超声波清洗机进口PVC板， **大盐水箱设计，杜绝因缺少盐水而中断试验

高压空气管：铜管或橡胶管

饱和空气桶：采用进口不锈钢（SUS304）板；采用亨利定律，予以加温加湿，并提供实验所需之湿度（饱和空气桶作用：针对压缩进去的空气加热、加湿以及油过滤）

全自动TGV晶圆玻璃溅射后超声波清洗机所有管道均采用加厚型氟硅橡胶管，十五年可保持化及

形状为人字拱形（冷凝水滴从斜壁回流箱内，不会产生滴落于样品上的现象）

与箱体采用水密封，从而防止盐雾外泄

全自动TGV晶圆玻璃溅射后超声波清洗机标准配置：圆棒8个、V型样品架4支、玻璃喷嘴2只、漏斗2支、计量筒2套、排气管：2m、喷雾管：2m、电源连接：3 米连接线、排水装置：排水管尺寸直径为40mm，用于排废水及雾气

配电箱安装排风扇，防止潮湿天气，损坏控制电器750型号以上箱盖开启为气压缸自动开关、操作方便