全自动晶圆去光刻胶刀洗去胶机

1. 全自动晶圆去光刻胶刀洗去胶机用于8、12寸晶圆、玻璃产品表面光刻图形光刻胶的去除清洗，包含CFM工艺产品；

2.刀洗工位可同时放置8“或12”晶圆两片；

3.晶圆旋转同时可上下升降，增强刀洗效果；

4. 全自动晶圆去光刻胶刀洗去胶机喷淋系统增压泵，可增加喷淋刀洗效果；

5.配置QDR漂洗槽及N2烘干槽，保干进干出；

6.刀洗后表面无胶块残留、脏污异色、蕴含液残留等；无产品异色、胶面损伤、产品裂片等现象。

7. 全自动晶圆去光刻胶刀洗去胶机牙齿under-cut内光阻颗粒无残留，去除表面60%光阻颗粒残留。

8.破片率：200μm以下厚度≦1/3000，250μm以下厚度≦1/3000，250μm以下厚度≦1/10000（非人为因素）