全自动硅片快速腐蚀机

碳化硅管清洗机为浸泡式清洗机，用于扩散、外延等设备的石英管，碳化硅管的清洗。

设备功能：用于石英炉管的清洗，操作员手工放入，在清洗槽内自动旋转，酸腐蚀后DIW冲洗，然后手工取出。

不锈钢骨架，白色的PP外壳，底盘采用挤出式焊接工艺，杜绝渗漏风险；

机台侧部安装有可旋转式的触摸屏；

碳化硅管清洗机PLC控制工艺过程，用户界面进行编程和监控； 

工艺槽内石英炉管可做旋动，有一定的倾斜角度以利于排空内部液体； 清洗槽左右两端设有美国进口纯水喷和氮气喷。 

碳化硅管清洗机工艺槽内石英炉管可做旋动，有一定的倾斜角度以利于排空内部液体； 

后部的排气装置，有可调节的气闸； 

EMO紧急按钮；

三色； 

前部和后部维修门设计； 

后部自动供酸系统接口设计； 

碳化硅管清洗机清洗槽左右两端设有进口纯水喷和氮气喷。